| 硅场发射阴极阵列的储存效应研究 |
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| 引用本文： | 刘卫东 罗恩泽. 硅场发射阴极阵列的储存效应研究[J]. 电子器件, 1994, 17(3): 110-112 |
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| 作者姓名： | 刘卫东 罗恩泽 |
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| 作者单位： | 西北工业大学，西安电子科技大学 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金和电子工业部电子科学研究院资助 |
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| 摘 要： | 本文研究了硅场发射阴极阵列的储存效应，发现长期储存会使其性能下降。
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| 关 键 词： | 硅场发射体 储存效应 真空微电子学 测试 |
Research on Storage Effect of Silicon Field Emission Cathode Arrays |
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| Liu Weidong. Research on Storage Effect of Silicon Field Emission Cathode Arrays[J]. Journal of Electron Devices, 1994, 17(3): 110-112 |
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| Authors: | Liu Weidong |
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| Abstract: | Storage effect of the silicon field emission cathode arrays is studied,That a longterm storage can decreaxe the performance of these cathode arrays is found. |
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| Keywords: | Silicon field emitter storage effect vacuum microelectronics |
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