| 静电式MEMS光开关新器件设计开发流程 |
| |
| 引用本文： | 王凯,赵新,何维玮,卢桂章. 静电式MEMS光开关新器件设计开发流程[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 272-274 |
| |
| 作者姓名： | 王凯 赵新 何维玮 卢桂章 |
| |
| 作者单位： | 南开大学,天津,300071 |
| |
| 基金项目： | 国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA422200,2002AA404030);国家重点基础研究发展计划资助项目(G1999033109);国家自然科学基金资助项目(60475038,60173061);高等学校骨干教师资助计划资助项目;天津市自然科学基金资助项目 |
| |
| 摘 要： | 在研究MEMS集成系统设计经验的基础上,简要论述了设计流程在MEMS设计中的重要性,提出静电式光开关新器件的开发流程,并以悬臂梁式MEMS光开关为例,进行了理论分析、静电-结构耦合场分析、材料选择、结构参数优化和控制电路设计等方面的研究.所提出的设计开发流程也适用于静电驱动的其他器件的开发,如RF-MEMS器件.
|
| 关 键 词： | 开发流程 静电式光开关 优化设计 MEMS |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0272-03 |
| 修稿时间： | 2005-03-26 |
Design Process of Static Electricity Driving Optical Switch |
| |
| Wang Kai,Zhao Xin,He Weiwei,Lu Guizhang. Design Process of Static Electricity Driving Optical Switch[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(Z1): 272-274 |
| |
| Authors: | Wang Kai Zhao Xin He Weiwei Lu Guizhang |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
