红外探测器技术的新趋势 |
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作者姓名: | 张文福 |
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摘 要: | 红外探测器研究的近期努力方向是改进单元器件性能,增大电子扫描阵列面积和提高工作温度。另一个重要目标是降低红外探测器成本,使用更方便。本文讨论光子和热红外探测器技术新趋势:HgCdTe光电二极管,肖特基势垒光发射器件,GaAs/AlGaAs波段间量子阱光电导和改进近室温探测器性能的方法。同时介绍微加工测辐射热计阵列的最新成就,并将各种类型探测器和现阶段HgCdTe技术成就作比较。
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关 键 词: | 红外探测器,半导体工艺,发展趋势 |
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