| 用于制备高机械可靠性RFMEMS开关的新型工艺 |
| |
| 引用本文： | 胡光伟,刘泽文,侯智昊,李志坚.用于制备高机械可靠性RFMEMS开关的新型工艺[J].光学精密工程,2008,16(7). |
| |
| 作者姓名： | 胡光伟 刘泽文 侯智昊 李志坚 |
| |
| 作者单位： | 清华大学,微电子学研究所,北京,100084 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目
,
北京市科委基金资助项目 |
| |
| 摘 要： | 对介质桥串联接触式RF MEMS开关的制备工艺进行了研究.介绍了开关的结构,说明了采用常规制备工艺容易在桥膜上形成应力集中,严重影响开关的机械可靠性.通过改进工艺,提出了一种侧向钻蚀刻蚀介质桥膜下金属的方法,获得了平坦的介质桥膜.最后,给出了完整的开关制备流程.与常规工艺相比,新工艺避免了应力集中问题,提高了开关的机械可靠性,成品率从10%提高到了95%,工作寿命从1 000次提高到了2.5×107次.此外,在23.3 V的驱动电压下,开关插入损耗＜0.55 dB＠DC-10 GHz,隔离度＞53.2 dB＠DC-10 GHz.结果表明该工艺可满足无线通讯对MEMS开关成品率、寿命和微波性能的要求.
|
| 关 键 词： | MEMS开关 接触式开关 机械可靠性 侧向钻蚀 寿命 |
Novel process for fabrication of RF MEMS switch with high mechanical reliability |
| |
| HU Guang-wei,LIU Ze-wen,HOU Zhi-hao,LI Zhi-jian.Novel process for fabrication of RF MEMS switch with high mechanical reliability[J].Optics and Precision Engineering,2008,16(7). |
| |
| Authors: | HU Guang-wei LIU Ze-wen HOU Zhi-hao LI Zhi-jian |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
