| 氧化铝抛光液磨料制备及其稳定性研究进展 |
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| 引用本文： | 吴俊星,刘卫丽,谢华清,宋志棠,朱月琴. 氧化铝抛光液磨料制备及其稳定性研究进展[J]. 上海第二工业大学学报, 2015, 0(2): 104-108 |
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| 作者姓名： | 吴俊星 刘卫丽 谢华清 宋志棠 朱月琴 |
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| 作者单位： | 上海第二工业大学城市建设与环境工程学院;上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家“十二五”重大专项(No.2009ZX02030-1)资助 |
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| 摘 要： | 介绍了氧化铝磨料在化学机械抛光中的应用,总结了氧化铝抛光液磨料制备方法。根据氧化铝抛光液在应用中存在的问题,着重阐述提高氧化铝抛光液分散性和稳定性的方法。在分析氧化铝抛光液应用的基础上,提出蓝宝石衬底抛光液将来的发展方向,希望为今后的氧化铝抛光液研究提供一些思路。
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| 关 键 词： | 化学机械抛光 纳米氧化铝 表面改性 |
Research Progress on the Preparation and Stability of Alumina Abrasive Suspensions |
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| WU Jun-xing;LIU Wei-li;XIE Hua-qing;SONG Zhi-tang;ZHU Yue-qin. Research Progress on the Preparation and Stability of Alumina Abrasive Suspensions[J]. Journal of Shanghai Second Polytechnic University, 2015, 0(2): 104-108 |
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| Authors: | WU Jun-xing LIU Wei-li XIE Hua-qing SONG Zhi-tang ZHU Yue-qin |
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| Affiliation: | WU Jun-xing;LIU Wei-li;XIE Hua-qing;SONG Zhi-tang;ZHU Yue-qin;School of Urban Development and Environmental Engineering, Shanghai Second Polytechnic University;Shanghai Xinanna Electronic Technology Co., Ltd.;State Key Laboratory of Functional Materials for Informatics, Laboratory of Nanotechnology,Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences; |
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