类金刚石炭膜在硬磁盘中的应用

射频离解烃制备了适用于21／4英寸计算机硬磁盘减摩，耐磨保护用的类金刚石碳膜，保护膜厚度不均匀性小于5％，硬度15．2GPa，结合力331MPa，无润滑下头盘摩擦系数μ≤0．26，脉动值△μ≤0．05。最佳效果是在添加润油的组合润滑下得，μ≤0．14，△μ≤0．04。电磁动态特性和读写试验表明，40nm类金刚石碳保护盘达到实用水平。