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| 亚微米聚焦离子束的漂移现象 | |
| 作者姓名： | 俞学东 毕建华 |
| 摘 要： | 研究李亚微米聚离子束（ＦＩＢ）系统的漂移现象，给出了测量漂移的方法，分析引起漂移的原因及降低漂移的措施，发现了偏转电极上的钝化层及污染物充电电荷所引起的漂移现象；测出了各电极电压变化所引起民漂移的大小；发现了由于外壳温度不均匀引起离子枪轴线相对样品变化所引起的漂移。提出了制作透镜电极时保持轴对称、特别是限制光栏必须位于透镜光轴的必要性。所给出的数据漂移数据既包含早期的单组透镜ＦＩＢ系统的数据，也包 |
| 关 键 词： | 聚焦电子束 微细加工 束漂移 亚微米 刻蚀 |
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