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镍钛记忆合金薄膜的制备与结构
引用本文:
徐东,漆璇.镍钛记忆合金薄膜的制备与结构[J].真空科学与技术,1997,17(5):311-314.
作者姓名:
徐东
漆璇
摘 要:
采用射频溅射法成功地制备了NiTi形状记忆合金薄膜。研究了不同成分靶材对膜最终成分的影响。电子探针和俄歇能义测定结果表明,在Ni(50at%)/Ti(50at%)的靶材上添入量的Ti,可以获得Ni/Ti为1:1的薄膜。
关 键 词:
形状记忆合金
射频磁控溅射
镍钛合金膜
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