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| MCs^＋—SIMS技术及其应用 | |
| 引用本文： | 岳瑞峰,徐传骧.MCs^＋—SIMS技术及其应用[J].真空科学与技术,1997,17(3):198-205. |
| 作者姓名： | 岳瑞峰 徐传骧 |
| 摘 要： | 强烈的基体效应一直是造成二次离了质谱（ＳＩＭＳ）难以定量分析和解释的主要原因，受其影响，常规ＳＩＭＳ，即Ｍ－ＳＩＭＳ（检测原子型二次离子Ｍ或Ｍ，Ｍ是要分析的元素）的适用范围受到了很大的限制，近几年来，上述状况已经通过一种新技术开发得到明显改善，这就是ＭＣｓ－ＳＩＭＳ技术，即在Ｃｓ一次离子轰击睛检测分子型二次离子ＭＣｓ而不是Ｍ。由于该技术明显减小甚至消除基体效应，从而开辟了ＳＩＭＳ定量分析的新途径， |
| 关 键 词： | 二次离子质谱 铯化物离子 定量分析 基体效应 |
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