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辉光放电光谱仪及其在表面分析中的应用
引用本文:张加民.辉光放电光谱仪及其在表面分析中的应用[J].表面技术,2003,32(6):63-66.
作者姓名:张加民
作者单位:温州市工业科学研究院,浙江,温州,325028
摘    要:详细介绍了GDS辉光放电光谱仪的发展概况、基本工作原理、设备的基本配置与构成以及性能特点等。用实例介绍了在金属材料的镀层表面逐层分析中的应用。最后展望了GDS在表面处理行业的应用前景。

关 键 词:辉光放电光谱仪  表面分析  逐层分析  金属分析  镀层  金属材料
文章编号:1001-3660(2003)06-0063-04

Application of GD-OES in the Area of Surface Analysis
ZHANG Jia-min.Application of GD-OES in the Area of Surface Analysis[J].Surface Technology,2003,32(6):63-66.
Authors:ZHANG Jia-min
Abstract:WT A new instrument-Glow Discharge Optical Emission Spectrometry is introduced.The development of GDS and its working principle,machine composing and characteristic have been detailed in this paper. Actual applications of this instrument in the areas of surface analysis are showed also.At last,it brings forward the bright future of the instrument in the application of surface processing area.
Keywords:Glow Discharge  Spectrometry  Surface analysis  Depth analysis  Metal analysis  
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