| 直线位移工作台运动误差补偿方法研究 |
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| 引用本文： | 刘钧,辛维娟,高明.直线位移工作台运动误差补偿方法研究[J].西安工业大学学报,2006,26(4):316-320. |
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| 作者姓名： | 刘钧 辛维娟 高明 |
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| 作者单位： | 西安工业大学光电工程学院 西安710032 |
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| 摘 要： | 为了减小直线位移工作台的导轨运动误差,研究了一种基于光学原理,采用四象限光电探测器,通过计算机系统对工作台产生的导轨运动误差进行自动补偿的方法.根据补偿原理,构建了误差补偿数学模型,分析了光学系统的参数和系统输出特性之间的关系,并通过实验,阐述了影响补偿系统灵敏度的相关因素.实验表明该方法能够实现优于0.24 V/μm的灵敏度,补偿精度可达到0.4%.这种方法能够有效地提高直线位移工作台的工作精度,对行程小于100 mm的直线位移工作台具有一定的推广价值.
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| 关 键 词： | 直线位移工作台 导轨 运动误差 光学原理 灵敏度 |
| 文章编号： | 1000-5714（2006）04-316-05 |
| 收稿时间： | 2006-04-06 |
| 修稿时间： | 2006年4月6日 |
Comoensation of Kinematic Error of Linearly Mouving Cariage |
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| Authors: | LIU Jun XIN Wei-juan GAO Ming |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | linearly moving carriage guide kinematic error optic theory sensitivity |
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