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微光学技术及其发展
引用本文:杨国光,沈亦兵,侯西云. 微光学技术及其发展[J]. 红外与激光工程, 2001, 30(4): 157-162
作者姓名:杨国光  沈亦兵  侯西云
作者单位:浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!浙江杭州310027
基金项目:国家自然科学基金重点项目 (6978980 3)
摘    要:微光学技术是90年代发展起来的光电学科前沿技术,是光电技术列阵化、微型化、智能化的主要发展方向。微光学技术已经在光通讯、光开关、光扫描、光互连中得到应用。文中就微光学的二元光学、衍/折混事光学、微透镜阵列的原理、工艺方法、主要应用、发展趋势以及我们的研究进行叙述。

关 键 词:微光学技术 微结构 微系统
文章编号:1007-2276(2001)04-0235-06
修稿时间:2001-01-02

Micro-optical technology and its development
YANG Guo|guang,SHEN Yi|bing,HOU Xi|yun. Micro-optical technology and its development[J]. Infrared and Laser Engineering, 2001, 30(4): 157-162
Authors:YANG Guo|guang  SHEN Yi|bing  HOU Xi|yun
Abstract:Micro|optical technology is a newly|developed opto|electronic subject since 1990. It also represents the direction of array technology, miniaturization, and intelligentization. In this presentation, the principle of binary optics, diffractive/refracting hybrid optics, microlens array, the technique methods, main application trends and the works of our department in this field are introduced and described.
Keywords:Micro |optics   Microstructure   Micro|system
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