| 一种便携式TiO2薄膜乙醇气敏传感器的研制 |
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| 引用本文： | 何平,赵红东,潘国峰. 一种便携式TiO2薄膜乙醇气敏传感器的研制[J]. 传感技术学报, 2007, 20(7): 1471-1474 |
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| 作者姓名： | 何平 赵红东 潘国峰 |
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| 作者单位： | 河北工业大学计算机科学与软件学院,天津,300130;河北工业大学信息工程学院,天津,300130 |
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| 摘 要： | 研制了一种适合于乙醇检测的新型TiO2基薄膜气敏传感器.敏感材料是采用直流磁控反应溅射法制备在Al2O3陶瓷管上的TiO2薄膜,薄膜经过退火处理(500℃、3 h)后,得到对乙醇蒸汽具有很好选择性和灵敏度的锐钛矿相TiO2,其最佳工作温度为270℃左右,响应时间2 s,恢复时间3 s.测量电路采用以ARM7为核的LPC2131微控制器实时监测电源电压,自动调整占空比,从而实现对加热温度的精确控制.通过测量敏感薄膜的电阻,并与乙醇气体浓度进行校准,最终显示被测气体的浓度.整个传感器采用低功耗设计,具备报警功能,同时提供了一个友好的用户界面.
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| 关 键 词： | 气敏传感器 TiO2薄膜 电阻测量 选择性 |
| 文章编号： | 1004-1699（2007）07-1471-04 |
| 收稿时间： | 2006-10-12 |
| 修稿时间： | 2006-10-122006-12-19 |
Study of a new hand-held TiO2 thin film sensors for ethanol |
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| He Ping Zhao Hong-dong Pan Guo-feng. Study of a new hand-held TiO2 thin film sensors for ethanol[J]. Journal of Transduction Technology, 2007, 20(7): 1471-1474 |
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| Authors: | He Ping Zhao Hong-dong Pan Guo-feng |
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| Affiliation: | 1. School of Computer Science and Engineering , Hebei University of Technology, Tianjin 300130,China; 2. School of Information Engineering, Hebei University of Technology, Tianjin 300130,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | gas sensors TiO2 thin films resistance measurement selectivity |
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