640×512数字化InGaAs探测器组件

数字化InGaAs探测器是短波红外探测器技术发展的一个重要方向，它不仅可以提升系统的集成度，还可以提升成像系统的各项技术指标。通过将模拟-数字转换器（ADC）集成到读出电路中实现数字化读出电路是数字化InGaAs探测器的技术核心。文中介绍了640×512数字化读出电路的设计与实现，并与InGaAs探测器通过铟柱进行倒装互联形成了数字化InGaAs探测器组件。通过对探测器组件的测试得到读出噪声为230 μV，峰值量子效率为65%，在300 K温度下探测率为1.2×1012 cmHz1/2/W，在60 Hz帧频下功耗为94 mW。测试结果表明，数字化InGaAs探测器组件具有低读出噪声，高线性度，高传输带宽，高抗干扰性等特点。