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| WO3-SnO2薄膜的溶胶-凝胶制备及其气敏特性研究 | |
| 引用本文： | 方国家,王汉忠,木昌洪,吉向东,刘祖黎. WO3-SnO2薄膜的溶胶-凝胶制备及其气敏特性研究[J]. 郑州轻工业学院学报(自然科学版), 2000, 15(4): 52-55 |
| 作者姓名： | 方国家 王汉忠 木昌洪 吉向东 刘祖黎 |
| 作者单位： | 1. 华中科技大学,物理系,湖北,武汉,430074;襄樊学院,物理系,湖北,襄樊,441053 2. 襄樊学院,物理系,湖北,襄樊,441053 3. 华中科技大学,物理系,湖北,武汉,430074 |
| 基金项目： | 湖北省教育厅重点资助项目(97A085) |
| 摘 要： | 以无机盐ＳnCl2.2H2O为主体原料、Ｈ２ＷＯ４为掺杂剂、无水乙醇为溶剂，采用溶胶－凝胶工艺制备了nw:nsn=1:1000的ＷＯ３－ＳnO2薄膜，并对共气敏性能进行了研究，实验表明，掺杂量为１％的ＷＯ３－ＳnO2薄膜在常温下对Ｈ２Ｓ，ＮＯx气体具有较好的气敏性能，对Ｈ２Ｓ气体的敏感温度为１００℃，对ＮＯx气体的最佳敏感温度为７０℃。 |
| 关 键 词： | 气敏器件 氧化钨 溶胶凝胶法 薄膜 氧化锡 |
| 文章编号： | 1004-1478(2000)04-0052-04 |
| 修稿时间： | 2000-07-10 |
Preparation of WO3-SnO2 thin films by the sol-gel process and their gas sensitivities |
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