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钛膜吸氢与释氢特性的研究
引用本文:张勇,牟方明.钛膜吸氢与释氢特性的研究[J].真空科学与技术,1995,15(3):201-206.
作者姓名:张勇  牟方明
摘    要:在SKL-12型多功能谱仪的预处理室中,采用超高真空镀膜的方法,得到了表面清洁的钛膜。对表面清洁及有一定量氧污染的钛膜进行了吸氢、释氢实验,并用理论模型拟合实验数据。结果表明:表面氧污染使太膜吸氢能力降低,其原因在于氧原子占据了钛膜表面的吸附位置,使氢解离为原子的几率降低。

关 键 词:吸附  解吸  污染  解离位置  真空镀膜  钛膜  
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