钛膜吸氢与释氢特性的研究 |
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引用本文: | 张勇,牟方明.钛膜吸氢与释氢特性的研究[J].真空科学与技术,1995,15(3):201-206. |
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作者姓名: | 张勇 牟方明 |
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摘 要: | 在SKL-12型多功能谱仪的预处理室中,采用超高真空镀膜的方法,得到了表面清洁的钛膜。对表面清洁及有一定量氧污染的钛膜进行了吸氢、释氢实验,并用理论模型拟合实验数据。结果表明:表面氧污染使太膜吸氢能力降低,其原因在于氧原子占据了钛膜表面的吸附位置,使氢解离为原子的几率降低。
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关 键 词: | 吸附 解吸 污染 解离位置 真空镀膜 钛膜 氢 |
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