| 基于权重系数的多变量工序能力指数计算模型 |
| |
| 引用本文： | 王少熙,贾新章,张玲. 基于权重系数的多变量工序能力指数计算模型[J]. 微电子学, 2007, 37(4): 504-506,510 |
| |
| 作者姓名： | 王少熙 贾新章 张玲 |
| |
| 作者单位： | 1. 西安电子科技大学,微电子学院,西安,710071
2. 宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安,710071 |
| |
| 摘 要： | 在因子分析模型的基础上，使用主成分分析方法计算载荷矩阵，选取全部公共因子，并考虑对应因子的贡献率，建立基于权重系数的多变量工序能力指数计算模型。该模型能克服多变量个数的限制问题。实例分析表明，计算结果能有效地反映工艺水平的变化。
|
| 关 键 词： | 工序能力指数 权重系数 多变量 质量特性 |
| 文章编号： | 1004-3365（2007）04-0504-03 |
| 修稿时间： | 2006-12-082007-03-03 |
Multivariate Process Capability Index Based on Weighting Coefficient |
| |
| WANG Shao-xi,JIA Xin-zhang,ZHANG Ling. Multivariate Process Capability Index Based on Weighting Coefficient[J]. Microelectronics, 2007, 37(4): 504-506,510 |
| |
| Authors: | WANG Shao-xi JIA Xin-zhang ZHANG Ling |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Process capability index Weighting coefficient Multivariate Quality characteristics |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
