| 玻璃上热壁真空沉积生长CdTe薄膜的结构及光学特性 |
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| 引用本文： | 姚朝晖,陈庭金,夏朝凤,袁海荣,刘祖明,廖华,王帆.玻璃上热壁真空沉积生长CdTe薄膜的结构及光学特性[J].半导体学报,2006,27(7):1236-1240. |
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| 作者姓名： | 姚朝晖 陈庭金 夏朝凤 袁海荣 刘祖明 廖华 王帆 |
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| 作者单位： | 中国农业大学水利与土木工程学院，北京 100083;云南师范大学太阳能研究所，昆明 650092;云南师范大学太阳能研究所，昆明 650092;云南师范大学太阳能研究所，昆明 650092;云南师范大学太阳能研究所，昆明 650092;云南师范大学太阳能研究所，昆明 650092;云南师范大学太阳能研究所，昆明 650092;云南师范大学太阳能研究所，昆明 650092 |
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| 基金项目： | 中国科学院资助项目
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云南省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用热壁真空沉积的方法,在清洁的玻璃衬底上生长了不同膜厚的CdTe薄膜,对其结构和薄膜的本征吸收光学特性进行了测量分析研究.XRD测试显示薄膜为多晶,具有标准的立方结构,沿(111)方向有明显的择优取向.晶格常数的计算值为0.649nm,与标准值符合得较好.用Cary 5000型双光束分光光度计测试了薄膜的反射谱和透射谱,显示在本征吸收区透过率随着膜厚的增加和波长的减小而减小.对测量的反射谱和透射谱采用较严格的数学处理,计算得到了描述薄膜宏观光学特性的重要物理量,即薄膜的吸收系数、消光系数、折射率等.用(hvα)2对hv作图,得出了薄膜厚度为0.12,0.48和0.81μm的光学能隙分别为1.54,1.48和1.46eV,证实了材料是直接带隙结构,且在本征吸收的可见光区有高的吸收系数.
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| 关 键 词： | 热壁真空沉积 CdTe薄膜 结构特性 光学特性 玻璃 热壁 真空 沉积生长 CdTe 薄膜厚度 带隙结构 光学特性 Deposition Vacuum Wall Glass Thin Films Optical Properties 可见光 材料 光学能隙 作图 折射率 消光系数 |
| 文章编号： | 0253-4177(2006)07-1236-05 |
| 收稿时间： | 11 12 2005 12:00AM |
| 修稿时间： | 01 18 2006 12:00AM |
Structural and Optical Properties of CdTe Thin Films on Glass Grown by Hot Wall Vacuum Deposition |
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| Yao Zhaohui,Chen Tingjin,Xia Chaofeng,Yuan Hairong,Liu Zuming,Liao Hua and Wang Fan.Structural and Optical Properties of CdTe Thin Films on Glass Grown by Hot Wall Vacuum Deposition[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(7):1236-1240. |
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| Authors: | Yao Zhaohui Chen Tingjin Xia Chaofeng Yuan Hairong Liu Zuming Liao Hua and Wang Fan |
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| Affiliation: | College of Hydraulic and Civil Engineering,China Agricultural University,Beijing 100083,China;Solar Energy Research Institute,Yunnan Normal University,Kunming 650092,China;Solar Energy Research Institute,Yunnan Normal University,Kunming 650092,China;Solar Energy Research Institute,Yunnan Normal University,Kunming 650092,China;Solar Energy Research Institute,Yunnan Normal University,Kunming 650092,China;Solar Energy Research Institute,Yunnan Normal University,Kunming 650092,China;Solar Energy Research Institute,Yunnan Normal University,Kunming 650092,China;Solar Energy Research Institute,Yunnan Normal University,Kunming 650092,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | hot wall vacuum deposition CdTe thin film structural properties optical properties |
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