首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     

氧化钨电致变色薄膜的XPS分析
引用本文:李海霞,唐武,翁小龙,邓龙江,孔占兴.氧化钨电致变色薄膜的XPS分析[J].稀有金属材料与工程,2008,37(7).
作者姓名:李海霞  唐武  翁小龙  邓龙江  孔占兴
作者单位:电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054
摘    要:采用射频磁控溅射工艺,在柔性PET衬底上低温制备电致变色WOx/ITO/PET多层薄膜;利用X射线光电子能谱(XPS)分析所制备薄膜的着、退色态中W元素的价态以及O元素的化合环境.结果表明:WOx薄膜着色态中存在W6 和W5 的混合价态,而在退色态中W元素的化合价仅为W6 ;钨离子的不同价态和氧离子的不同化合环境的变化与WOx薄膜的电致变色机制密切相关.

关 键 词:WOx薄膜  电致变色  磁控溅射

XPS Analyses on WOx Electrochromic Films
Abstract:
Keywords:
本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号