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| 基于MEMS加速度计的单轴数字倾角传感器 | |
| 作者单位： | ;1.南京电子器件研究所 |
| 摘 要： | 在分析MEMS加速度传感器测量倾角的原理和方法的基础上,设计了基于MEMS双轴加速度传感器的数字化全量程单轴倾角传感器,并介绍了其软硬件实现。通过分析加速度传感器的安装误差及X轴和Y轴的灵敏度差异,给出了加速度传感器的参数校正算法,并确定合适的测量频率与带宽,经测试,所设计的数字化单轴倾角传感器测量范围±180°,精度0.1°。 |
| 关 键 词： | 微机电系统 加速度传感器 数字倾角仪 |
A Digital Single Tilt Sensor Based on MEMS Accelerometers |
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