| ITO薄膜的微观组织结构与光电性能研究 |
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| 引用本文： | 曾胜男 刘家祥 张楠. ITO薄膜的微观组织结构与光电性能研究[J]. 稀有金属材料与工程, 2007, 36(10): 1861-1864 |
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| 作者姓名： | 曾胜男 刘家祥 张楠 |
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| 作者单位： | 北京化工大学化工资源有效利用国家重点实验室,北京,100029 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 以金属铟和结晶四氯化锡为原料，采用溶胶．凝胶工艺，用浸渍提拉法在石英玻璃基体上制备ITO透明导电薄膜。采用XRD，AFM，四探针电阻率仪，紫外分光光度计对薄膜的晶型结构，表面形貌，方电阻和透光率进行了测定和分析，研究了热处理温度和提拉层数对薄膜光电性能的影响。结果表明：随着热处理温度的升高，薄膜的方电阻显著降低，透光率也不断增大，但是当后处理温度大于750℃时，透光率略有降低，方电阻仍然降低。
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| 关 键 词： | ITO前驱物浆料 溶胶-凝胶法 微观组织结构 光电性能 |
| 文章编号： | 1002-185X（2007）10-1861-04 |
| 修稿时间： | 2006-09-27 |
Microstructure and Photoelectric Properties of ITO Thin Films |
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| Zeng Shengnan,Liu Jiaxiang,Zhang Nan. Microstructure and Photoelectric Properties of ITO Thin Films[J]. Rare Metal Materials and Engineering, 2007, 36(10): 1861-1864 |
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| Authors: | Zeng Shengnan Liu Jiaxiang Zhang Nan |
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| Affiliation: | The State Key Laboratory of Chemical Resource Engineering, Beijing University of Chemical Technology, Beijing 100029, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ITO preoursor solution sol-gel method microstructure photoelectric properties |
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