| 超声喷雾热分解法制备硅薄膜太阳电池用ZnO：In透明导电膜 |
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| 引用本文： | 焦宝臣,张晓丹,樊正海,魏长春,孙建,赵颖. 超声喷雾热分解法制备硅薄膜太阳电池用ZnO：In透明导电膜[J]. 硅酸盐学报, 2011, 39(12): 2008-2012 |
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| 作者姓名： | 焦宝臣 张晓丹 樊正海 魏长春 孙建 赵颖 |
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| 作者单位： | 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津,300071 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展规划(2007AA05Z436,2009AA050602);天津科技支撑(08ZCKFGX03500);国家重点基础研究发展规划(2011CB201605,2011CB201606);国家自然科学基金(60976051);科技部国际合作重点(2006DFA62390,2009DFA-62580);教育部新世纪人才(NCET-08-0295)资助项目 |
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| 摘 要： | 采用超声喷雾热分解法,在Eagle2000衬底上制备ZnO薄膜。通过Hall测试、X射线衍射、扫描电子显微镜和透过率测试研究不同In掺量对ZnO薄膜电学、结构、表面形貌和光学特性的影响。结果表明：当In摩尔掺量（In与ZnO的摩尔比）为1.5%时,获得的薄膜具有较低的电阻率（2.48×10–3cm）;所有In掺杂ZnO...
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| 关 键 词： | 氧化锌薄膜 透明导电薄膜 超声喷雾热分解法 铟掺杂 太阳电池 |
Preparation of ZnO:In Transparent Conductive Oxide Thin Films for Silicon Thin Film Solar Cell by Ultrasonic Spray Pyrolysis |
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| JIAO Baochen,ZHANG Xiaodan,FAN Zhenghai,WEI Changchun,SUN Jian,ZHAO Ying. Preparation of ZnO:In Transparent Conductive Oxide Thin Films for Silicon Thin Film Solar Cell by Ultrasonic Spray Pyrolysis[J]. Journal of The Chinese Ceramic Society, 2011, 39(12): 2008-2012 |
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| Authors: | JIAO Baochen ZHANG Xiaodan FAN Zhenghai WEI Changchun SUN Jian ZHAO Ying |
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| Affiliation: | (Institute of Photo-electronic Thin Film Device and Technique,Nankai University,Tianjin 300071,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | zinc oxide thin film transparent conductive oxide ultrasonic spray pyrolysis indium doping solar cell |
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