爪型泵型线的研究

在半导体元件的制造中，腐蚀蒸汽及磨损粒子会污染油封泵的润滑剂，并降低其使 用寿命。为了解决这个问题，开发了干式真空泵。本文重点介绍了干式泵中很有前途的 爪型泵，并给出了计算型线的方程式。