| 纳米压痕技术及其应用 |
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| 引用本文： | 黎明,温诗铸. 纳米压痕技术及其应用[J]. 中国机械工程, 2002, 13(16): 1437-1439 |
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| 作者姓名： | 黎明 温诗铸 |
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| 作者单位： | 清华大学,北京市,100084 |
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| 摘 要： | 介绍了纳米压痕技术在微机电系统、材料科学、摩擦学性能研究、生物工程和信息技术等领域中的应用，以及纳米压痕技术在理论研究方面的进展及今后的研究重点。
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| 关 键 词： | 纳米压膜技术 力学性能 弹性模量 微硬度 |
| 文章编号： | 1004-132X(2002)17-1437-03 |
Nanoindentation and Its Application |
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| LI Ming. Nanoindentation and Its Application[J]. China Mechanical Engineering, 2002, 13(16): 1437-1439 |
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| Authors: | LI Ming |
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| Abstract: | In this article an introduction is made to nanoindentation and its application in the fields of MEMS, special materials, tribology,information technology and bioengineering. Some theories on nanoindentation are presented briefly and the research trends and some problems are pointed out finally. |
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| Keywords: | nanoindentation mechanical property elastic modulus microhardness |
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