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| 国外油扩散泵、钛泵近况 | |
| 作者单位： | 上海曙光机械厂 |
| 摘 要： | 一、油扩散泵 自进入七十年代以来,国外油扩散泵制造厂的产品都已进入稳定和成熟阶段。很少有新品种出现。各主要生产厂都具有一种或数种系列的定型产品。从文献资料来看,自六十年代后期以来,就很少发表扩散泵理论研究的文章,改进扩散泵局部结构的专利也逐年减少。实验室研究重点是放在如何减少扩散泵的返油到10-6(毫克/厘米2·分)以下和测量微量返油的方法。 极限真空 油扩散泵在六十年代初期是因为出现了DC-705硅油,而再度被重视和发展的。由于DC-705硅油极低饱和蒸汽压力特性,使扩散泵能获得10-8-10-10乇的超高真空,这样才使扩散泵适应… |
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