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有源器件光集成的热点技术分析
引用本文:徐红春.有源器件光集成的热点技术分析[J].烽火科技报,2010(Z1).
作者姓名:徐红春
作者单位:武汉电信器件公司;
摘    要:1前言光集成器件由于其综合成本低、体积小巧、易于大规模装配生产、工作速率高、性能稳定等等优点,早在20世纪70年代就引起了世人的关注和研究。在随后的三十多年里,随着光波导制作技术以及各种精细加工技术的迅速发展,光

关 键 词:加工技术  光波导  光集成技术  性能稳定  有源器件  混合集成  滤光片  光集成器件  光器件  无源器件集成  
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