OLED用含钼和/或铝金属膜的蚀刻液及其制备方法

专利申请号：CN201110316299.8公开号：CN102392248A申请日：2011.10.18公开日：2012.03.28申请人：绵阳艾萨斯电子材料有限公司本发明公开了一种OLED用含钼和/或铝金属膜的蚀刻液及其制备方法。该蚀刻液,包括硝酸水溶液、磷酸水溶液、甜菜碱两性表面活性剂和水。其中，所述硝酸水溶液占所述蚀刻液总重的1％～10％，优选2％～8％；所述磷酸水溶液占所述蚀刻液总重的40％～80％，优选50％～70％；所述甜菜碱两性表面活性剂占所述蚀刻液总重的0．1％～5％，优选0．5％～2％；余量为所述水。该蚀刻液能有效改善蚀则液和金属膜之间固液界面张力，提高金属表面的润湿性，不但稳定了蚀刻速度，提高蚀划精度，最重要的是，能够有效的控制锥角在20°～70°，且没有蚀刻残渣，是一种高效高精度的蚀刻液，具有重要的应用价值。