基于激光干涉仪同步测量的动态校准装置

为满足时变几何量的瞬时动态测试需求，研制了一种基于激光干涉仪同步测量的动态校准装置。该装置采用直线运动导轨和运动发生器、长度标准器激光干涉仪，以基于GNSS驯服时钟的同步触发器实现同步测量并确保时间准确稳定，并使用动态校准软件实现控制一体化。经综合分析激光干涉仪的最大允许误差、直线运动导轨的直线度、环境因素、触发信号间时延及激光干涉仪测量时延等因素，该装置的长度示值的测量不确定度为Q1.8μm, 3×10^-7L](k=2)。与同型号激光干涉仪的比对实验和激光跟踪仪瞬时长度测试实验，证明了不确定度评定的合理性以及该装置在瞬时动态准确度测试中的可行性。