| 剑桥S250扫描电镜控制电路部分故障分析与排除 |
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| 引用本文： | 何建平,金建灵,崔新发,杨启敏. 剑桥S250扫描电镜控制电路部分故障分析与排除[J]. 现代仪器, 2000, 0(6): 42-43 |
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| 作者姓名： | 何建平 金建灵 崔新发 杨启敏 |
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| 作者单位： | 北京科技大学新金属材料国家重点实验室,北京,100083 |
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| 摘 要： | 本文主要简单介绍剑桥S250扫描电镜的控制部分的结构,分析检修方法和常见故障。
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| 关 键 词： | 扫描发生器 透镜电流 线扫 帧扫 消隐 |
Faults study and Solution of Cambridge S250 SEM Control Unit |
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| He Jianping,Jin Jianling,Cui Xinfa,Yang Qimin. Faults study and Solution of Cambridge S250 SEM Control Unit[J]. Modern Instruments, 2000, 0(6): 42-43 |
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| Authors: | He Jianping Jin Jianling Cui Xinfa Yang Qimin |
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| Abstract: | This paper shows the basic structure and general trouble shooting of control unit of Cambridge S250 SEM system. |
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| Keywords: | scan generator lens current Line scan frame scan blank |
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