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| 新产品 | |
| 摘 要： | 晶圆探针▲Precio是新一代全自动晶圆探针,可用于300mm晶圆。该系统的目的是减少全部测试单元的运行成本。其特点是采用了TELPADS-I,一种先进的在线探针标志检测技术,可用来增强PMI执行和定量数据搜集。其自动调节机制允许系统全自动并精确地调整探测卡和探测卡盘之间的共面性。Tokyo Electron Ltd.www.tel.com |
| 关 键 词： | 产品 废弃物处理 抗反射涂层 加载装置 晶圆 探针 设备 清洗 |
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