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XUV掠入射光栅摄谱仪的设计与研制
引用本文:郭旭,周锦智.XUV掠入射光栅摄谱仪的设计与研制[J].光学仪器,1990,12(3):35-38.
作者姓名:郭旭  周锦智
作者单位:中科院上海光机所,中科院上海光机所
摘    要:文章介绍了XUV掠入射光栅摄谱仪的光学原理、结构特点,工艺、材料选择及部分实验结果。

关 键 词:光栅摄谱仪  摄谱仪  设计  研制

Design and Manufacturing of XUV Grazing Incidence Graing Spectrograph
Abstract:The XUV grazing incidence grating spectrograph is described in terms of optical principle, structure characteristics, technology and material selection. Some experimental results are also presented.
Keywords:
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