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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
应用K-K关系测量高掺杂Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的电学参数
作者姓名:
徐谨民
邵丽影
王永泰
林
作者单位:
南开大学测试中心(徐谨民,王永泰),南开大学物理系(邵丽影),南开大学测试中心(林■)
摘 要:
基于K-K关系对高掺杂Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体N-GaAs和N-InP的反射谱用170SX型FT-IR仪器在50~27500cm~(-1)范围进行了数据处理,求出等离子体频率ω_p、阻尼系数γ、载流子浓度n、迁移率μ、电阻率ρ等重要的电学参数。
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