| 结合体构造的Monte Carlo方法模拟扫描电镜成像衬度 |
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| 引用本文： | 李会民,丁泽军.结合体构造的Monte Carlo方法模拟扫描电镜成像衬度[J].电子显微学报,2004,23(4):362-362. |
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| 作者姓名： | 李会民 丁泽军 |
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| 作者单位： | 中国科技大学结构分析重点实验室,物理系,安徽,合肥,230026 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (No .10 0 2 5 42 0 ,2 0 0 75 0 2 6,90 2 0 60 0 9) |
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| 摘 要： | 扫描电镜中的低能二次电子信号主要反映试样的表面形貌特征，而较高能量的背散射电子信号既包含了试样的表面信息，也可表征试样的结构差异和内部成分。对二次电子和背散射电子信号产生过程的计算模拟研究有助于理解扫描电子显微镜的成像机制和图像衬度机理，但现在的计算一般仅局限
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| 关 键 词： | Monte Carlo模拟 扫描电子显微镜 成像衬度 表面形貌分析 |
Monte Carlo simulation of SEM imaging contrast based on constructive solid geometry modeling |
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