| 不等电位空心阴极Ar等离子体放电发射光谱的诊断 |
| |
| 引用本文： | 杨丽珍,张跃飞,边心超,陈强,张广秋.不等电位空心阴极Ar等离子体放电发射光谱的诊断[J].真空科学与技术学报,2010,30(3). |
| |
| 作者姓名： | 杨丽珍 张跃飞 边心超 陈强 张广秋 |
| |
| 作者单位： | 1. 北京印刷学院等离子体材料与物理研究室,北京,102600
2. 北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京,100124 |
| |
| 基金项目： | 北京市属高等学校人才强教计划资助项目，国家自然科学基金 |
| |
| 摘 要： | 等离子体中电子激发温度是等离子体的一个重要物理参数之一,对材料表面改性具有非常重要的意义。本实验以Ar气为工作气体,利用发射光谱法对双层辉光放电等离子体参数进行在线诊断。依据气体放电中的光谱发射谱线强度与等离子体的电子激发温度有关,本实验选择了650~800 nm范围Ar原子谱线,通过玻尔兹曼方程,采用多线-斜率法对等离子体电子激发温度进行了估算。实验研究了工件电压、源极电压、工作气压等工艺参数对电子激发温度的影响,测量了电子激发温度的空间分布。实验结果表明,随工件电压的升高,电子激发温度先减小后增大,变化过程中有一个电子激发温度突变过程;不同工件电压下,工作气压对电子激发温度的影响规律不同;空间分布测量可知,中间部位处的电子激发温度要比两边高;而源极电压较小时,对电子激发温度影响不太明显。
|
| 关 键 词： | 电子激发温度 发射光谱法 双层辉光放电 多线-斜率法 |
In-Situ Diagnosis of Ar Plasma Generated by Unequal Potential Hollow Cathode Discharge |
| |
| Yang Lizhen,Zhang Yuefei,Bian Xinchao,Chen Qiang,Zhang Guangqiu.In-Situ Diagnosis of Ar Plasma Generated by Unequal Potential Hollow Cathode Discharge[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2010,30(3). |
| |
| Authors: | Yang Lizhen Zhang Yuefei Bian Xinchao Chen Qiang Zhang Guangqiu |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
