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掺杂ZnO透明导电薄膜研究进展

作者姓名：	郭志民　丁元法　李云飞

作者单位：	北京中材人工晶体研究院有限公司;贵州科学院;

摘要：	ZnO基透明导电薄膜是近年来研究的一个热点。总结了近年来掺杂ZnO薄膜,主要有Al掺杂、Ga掺杂、In掺杂和Zr掺杂的一些研究进展,并在此基础上对掺杂ZnO透明导电薄膜的发展进行了展望。
关键词：	ZnO 透明导电薄膜掺杂研究进展
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