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| 氮化锆薄膜性能的研究 | |
| 作者姓名： | 郭信章 尹万里 |
| 作者单位： | 北京市太阳能研究所，北京市太阳能研究所 |
| 摘 要： | 本文叙述反应溅射制备的氮化锆薄膜的光学、机械、腐蚀及老化性能。它具有反射率为84%、耐紫外光性能良好是一种比较理想的太阳能装置的反光材料，亦可作硬质镀甚及仿金镀膜层。 |
| 关 键 词： | 硬质 老化性能 薄膜性能 镀膜层 氮化 制备 研究 光学 反射率 理想 |
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