自参考平板剪切干涉技术的研究 |
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引用本文: | 赵明山,李国华,张敬斌.自参考平板剪切干涉技术的研究[J].光电子.激光,1993(3). |
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作者姓名: | 赵明山 李国华 张敬斌 |
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作者单位: | 曲阜师范大学激光所,曲阜师范大学激光所,曲阜师范大学激光所 山东 273165,山东 273165,山东 273165 |
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摘 要: | 平板剪切干涉技术是目前光学检测,测量及像质检验等领域中常用的干涉技术。现行的平板剪切干涉装置有两种形式:一是平行平板剪切干涉,另一类是楔形平板剪切干涉。前者利用无限宽条纹判定光束的准直性,精度受光束直径的限制较大;后者利用有限个条
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