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| 自动监控真空喷镀过程的仪器 | |
| 作者姓名： | 李容芳 |
| 摘 要： | 真空喷镀工艺发展的现代水平,导致迫切需要装配用智能化仪器对工艺过程进行监测和控制的真空装置和线路.在工艺过程中必须控制以下参数:在抽空部位的不同点压力分辨的等级;用不同喷镀源物质涂敷的速 |
| 关 键 词： | 镀膜 真空喷镀 自动控制 监视控制 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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