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| 一种陶瓷电容式压力传感器的设计和实验研究 | |
| 作者姓名： | 张宾 梅涛 马以武 唐力强 |
| 作者单位： | [1]中科院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室研究生 [2]中国科学院合肥智能机械研究所常务副所长、博士／／中国科学技术大学博士生导师 [3]传感技术研究中心副主任、厚膜力敏传感器实验室主任 |
| 摘 要： | 陶瓷电容式压力传感器具有抗腐蚀、耐高温、高精度、高稳定性、无污染和抗过载等优点，在工业中将有广泛用途。但是，其芯片目前国内尚无厂家可以生产。应客户要求，我们对陶瓷电容式压力传感器进行了设计、建模、制作和实验，并使之满足批量生产的需要。 |
| 关 键 词： | 陶瓷 电容 压力 传感器 |
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