| 一种闭环控制圆光栅角度分度测量装置 |
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| 引用本文： | 钱建强,王东生.一种闭环控制圆光栅角度分度测量装置[J].仪器仪表学报,2006,27(Z2):1515-1516. |
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| 作者姓名： | 钱建强 王东生 |
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| 作者单位： | 1. 北京航空航天大学理学院,北京,100083
2. 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 研制闭环控制的用于角度标定与测量的分度装置,该装置以永磁直流力矩电机驱动精密轴系主轴的运转带动角度分度盘的转动,以圆光栅测量系统检测主轴的转动角度.由电流环、速度环和位置环组成的闭环控制系统实现零误差分度定位控制.研究圆光栅测量信号处理中信号细分形成的系统非线性误差对分度精度的影响,建立误差修正模型.经检定,系统在±5°的角度范围内分度精度达到±0.2",定位重复性0.06".
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| 关 键 词： | 闭环控制 圆光栅 角度分度 误差修正 |
Circular grating angle-division measuring equipment based on closed loop controlling system |
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| Qian Jianqiang,Wang Dongsheng.Circular grating angle-division measuring equipment based on closed loop controlling system[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2006,27(Z2):1515-1516. |
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| Authors: | Qian Jianqiang Wang Dongsheng |
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