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| 电磁型微马达及其控制方式应用研究 | |
| 引用本文： | 曹长江,杨红红,张琛.电磁型微马达及其控制方式应用研究[J].测控技术,2000,19(12):5-7. |
| 作者姓名： | 曹长江 杨红红 张琛 |
| 作者单位： | 上海交通大学信息存储研究中心200030 |
| 摘 要： | 对Фmm和Ф2mm电磁型微马达的原理、结构进行了详细介绍。利用微马达可以作为同步电机使用的特性实现微马达的快速运转，同时利用其步进特性实现单步进给。为了实现微马达在精密MEMS系统中的应用，采用了一种简单、实用的方式来实现微马达的步距细分。该马达良好的性能和完善的控制方式提高了其实用能力。 |
| 关 键 词： | 微马达 进给 细分 控制方式 MEMS 快速 系统 电磁 同步电机 精密 |
| 修稿时间： | 2000年3月1日 |
Research on Electromagnetic Micromotor and Its Control Mode |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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