| 衬底温度对ZnS薄膜微结构和应力的影响 |
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| 引用本文： | 江锡顺,曹春斌,蔡琪,宋学萍,孙兆奇.衬底温度对ZnS薄膜微结构和应力的影响[J].功能材料,2006,37(7):1121-1123. |
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| 作者姓名： | 江锡顺 曹春斌 蔡琪 宋学萍 孙兆奇 |
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| 作者单位： | 安徽大学,物理与材料科学学院,安徽,合肥,230039;安徽大学,物理与材料科学学院,安徽,合肥,230039;安徽大学,物理与材料科学学院,安徽,合肥,230039;安徽大学,物理与材料科学学院,安徽,合肥,230039;安徽大学,物理与材料科学学院,安徽,合肥,230039 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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安徽省自然科学基金
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安徽省人才基金
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安徽大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法分别在不同温度衬底上制备了厚度为320nm的ZnS薄膜,用XRD和光学相移技术研究了不同衬底温度下薄膜的微结构和应力.结果表明:不同温度衬底上沉积的ZnS薄膜均呈多晶状态,衬底温度由50℃上升到400℃的过程中,其择优取向发生了变化,晶粒有明显的生长方向;ZnS薄膜应力随着衬底温度升高逐渐减小,衬底温度在250～350℃之间的ZnS薄膜应力较小且在选区内分布比较均匀.
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| 关 键 词： | ZnS薄膜 衬底温度 微结构 应力 |
| 文章编号： | 1001-9731(2006)07-1121-03 |
| 收稿时间： | 2005-09-05 |
| 修稿时间： | 2005-11-09 |
Effect of substrate temperature on microstructure and stress of ZnS films |
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| JIANG Xi-shun,CAO Chun-bin,CAI Qi,SONG Xue-ping,SUN Zhao-qi.Effect of substrate temperature on microstructure and stress of ZnS films[J].Journal of Functional Materials,2006,37(7):1121-1123. |
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| Authors: | JIANG Xi-shun CAO Chun-bin CAI Qi SONG Xue-ping SUN Zhao-qi |
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| Affiliation: | School of Physics and Material Seienee,Anhui University, Hefei 230039,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnS films substrate temperature mlcrostructure stress |
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