| 三坐标精密运动平台的设计 |
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| 引用本文： | 杨国哲,王立平,郁鼎文,刘向阳.三坐标精密运动平台的设计[J].机床与液压,2006(6):1-3. |
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| 作者姓名： | 杨国哲 王立平 郁鼎文 刘向阳 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 在超精密切削、磨削、特种加工中,大行程驱动与高精度进给是难以解决的矛盾,也是多坐标超精密加工的难点.本文以三维结构的超精密加工为对象,进行了适合超精密三维结构特种加工运动平台的设计,实现了较大行程的三维精密运动.该精密运动平台也是研制超精密加工机床的基础.
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| 关 键 词： | 超精密 工件台 运动控制 纳米 |
| 文章编号： | 1001-3881(2006)6-001-3 |
| 收稿时间： | 2005-04-01 |
| 修稿时间： | 2005年4月1日 |
Design of a Three Dimensions Ultra Precision Stage |
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| YANG Guozhe,WANG Liping,YU Dingwen,LIU Xiangyang.Design of a Three Dimensions Ultra Precision Stage[J].Machine Tool & Hydraulics,2006(6):1-3. |
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| Authors: | YANG Guozhe WANG Liping YU Dingwen LIU Xiangyang |
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| Affiliation: | Department of Precision Instruments and Meehanology, Tsinghua University, Beijing 100084, China |
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| Abstract: | On ultra precision cutting, grinding and non-traditional machining, there is a hard problem between long travel and high precision, especially in multi-coordinate machining. Aimed at tri -coordinate ultra precision machining, a stage used for tri - coordinate non - traditional machining was designed, which realizes long travel tri - coordinate ultra precision machining. The stage is also the base of designing ultra precision machine tools. |
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| Keywords: | Ultra - precision Stage Motion control Nanometer |
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