第三代半导体氮化镓材料单晶制备技术及应用前景 |
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引用本文: | 朱曦,黎晓华,贺威,李煜,朱德亮,曹培江,柳文军,姚蕾,韩舜,曾玉祥,吕有明,刘新科.第三代半导体氮化镓材料单晶制备技术及应用前景[J].广东化工,2024(4):49-51+75. |
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作者姓名: | 朱曦 黎晓华 贺威 李煜 朱德亮 曹培江 柳文军 姚蕾 韩舜 曾玉祥 吕有明 刘新科 |
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作者单位: | 1. 深圳大学;2. 深圳大学材料学院 |
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基金项目: | 广东省自然科学杰出青年项目(2022B1515020073); |
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摘 要: | 随着科技的发展,半导体材料与人们的生活息息相关。氮化镓作为第三代半导体材料的代表,具有宽禁带、介电系数小、高电子迁移率、高热导率和耐辐射的优点,广泛用于光电器件、微电子领域中。本文详细阐述了氮化镓一维纳米线、单晶衬底的制备方法的原理及优缺点(如VLS法、HVPE法、氨热法等)、简述了在光电、射频、电子电力领域中的应用,并展望了未来的发展前景。
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关 键 词: | 氮化镓 一维纳米线 单晶衬底 光电器件 微电子 |
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