| 热铁盘法抛光CVD金刚石的微观表面研究 |
| |
| 引用本文： | 马泳涛,张建立,李钝,马胜钢. 热铁盘法抛光CVD金刚石的微观表面研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2008, 0(4) |
| |
| 作者姓名： | 马泳涛 张建立 李钝 马胜钢 |
| |
| 作者单位： | 1. 郑州大学机械工程学院,450001,郑州
2. 郑州大学信息工程学院,450001,郑州 |
| |
| 摘 要： | 用原子力显微镜对热铁盘法抛光CVD金刚石达到Ra0.016 μm的表面进行观察.在微观表面重现的基础上,对不同方向的表面粗糙度进行探测.发现抛光后的金刚石表面的粗糙度呈现出一定的方向性,最大粗糙度和最小粗糙度方向,两个方向相互垂直.三维形貌图显示,金刚石表面存在较少数量的由点到凸峰,且较大凸峰的高度在50～60 nm之间,是较小凸峰高度的2～3倍.影响表面粗糙度值的因素不仅有表面凸峰的高度,还应考虑表面凸峰的数量和方向性.这种表面特征与抛光时采用的直压式运动方式有着直接联系.
|
| 关 键 词： | 热铁盘法 CVD金刚石 抛光 微观表面 |
Study on micro surfaces of CVD diamond polished by hot metal plate |
| |
| Ma Yongtao,Zhan Jianli,Li Dun,Ma Shenggang. Study on micro surfaces of CVD diamond polished by hot metal plate[J]. Diamond & Abrasives Engineering, 2008, 0(4) |
| |
| Authors: | Ma Yongtao Zhan Jianli Li Dun Ma Shenggang |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
