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| 磁控溅射低温制备高电导高透明氢掺杂薄膜 | |
| 引用本文： | 张敏,杜鹃.磁控溅射低温制备高电导高透明氢掺杂薄膜[J].中国新技术新产品,2019(5). |
| 作者姓名： | 张敏 杜鹃 |
| 作者单位： | 青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司 |
| 摘 要： | 通过分析直流磁控溅射技术低温制备高电导和高透明的氢掺杂AZO薄膜实验,明确了溅射技术对于低温制备AZO薄膜的重要作用。由此可以证明,引入适量氢气,有利于提升AZO薄膜的电阻率。 |
| 关 键 词： | 直流磁控溅射技术 低温制备 高电导 高透明 氢掺杂AZO薄膜 |
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