| 椭圆偏振仪在纳米测量技术中的应用 |
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| 引用本文： | 金承钰. 椭圆偏振仪在纳米测量技术中的应用[J]. 现代科学仪器, 2003, 0(2): 30-31 |
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| 作者姓名： | 金承钰 |
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| 作者单位： | 上海交通大学分析测试中心,上海,200030 |
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| 摘 要： | 主要研究变角度变波长椭圆偏振仪测量多层膜每层膜厚和光学特性，并给出了光学梯度薄膜的梯度特性。
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| 关 键 词： | 椭圆偏振仪 光学梯度膜 多层膜 膜厚 光学常数 |
| 修稿时间： | 2003-03-30 |
Application of Ellipsometer in the Field of Nano-measurement |
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| Jin Chengyu. Application of Ellipsometer in the Field of Nano-measurement[J]. Modern Scientific Instruments, 2003, 0(2): 30-31 |
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| Authors: | Jin Chengyu |
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| Abstract: | Ellipsometer is widely used in the field of studying the thickness, refracive index, extinction coefficient of the multilayer film and some optical properties of graded layer are also given. |
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| Keywords: | Ellipsometer optical graded layer mutilayers film thickness optical constant |
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