| AlN 粉末制备的热力学分析和实验研究 |
| |
| 引用本文： | 李春忠,胡黎明,陈敏恒.AlN 粉末制备的热力学分析和实验研究[J].无机材料学报,1992(4). |
| |
| 作者姓名： | 李春忠 胡黎明 陈敏恒 |
| |
| 作者单位： | 华东化工学院技术化学物理研究室
(李春忠，胡黎明)，华东化工学院技术化学物理研究室(陈敏恒) |
| |
| 摘 要： | 对制备 AlN 的体系 AlCl_3-NH_3-N_2进行了热力学分析,确立了 AlN 粉末合成所需要的热力学条件.在700～1000℃下,利用无水 AlCl_3和 NH_3的化学气相淀积反应合成得到了高纯 AlN 超细粒子粉末,研究了反应温度、AlCl_3浓度和总流量等对 AlN 粉末理化性质的影响.实验确立了产物低温和高温热处理条件.
|
| 关 键 词： | AIN 化学气相淀积 超细粉末 热力学 |
Thermodynamic Analysis and Experimental Study of AIN Powder Preparation |
| |
| Li Chunzhong Hu Liming Chen Minheng.Thermodynamic Analysis and Experimental Study of AIN Powder Preparation[J].Journal of Inorganic Materials,1992(4). |
| |
| Authors: | Li Chunzhong Hu Liming Chen Minheng |
| |
| Affiliation: | Techn.Chem.Phys.Lab.ECUCT |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Chemical vapor deposition Ultrafine particles Thermodynamics |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
