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| 用于汽车控制系统的a-Si:H薄膜温度传感器 | |
| 作者姓名： | 惠恒荣 秦学超 李建强 恽正中 |
| 作者单位： | 成都电子科技大学 成都市 |
| 摘 要： | 本文介绍了一种成本低廉、灵敏度高的新型氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜温度传感器的工作原理、样品结构和制备方法。同时还报导了作者对这种传感器研制的初步结果。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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