| 微型热导检测器温控模块研究 |
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| 引用本文： | 游文斌,冯飞,俞正寅,戈肖鸿,刘明,李昕欣. 微型热导检测器温控模块研究[J]. 传感器与微系统, 2017, 36(2). DOI: 10.13873/J.1000-9787(2017)02-0011-03 |
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| 作者姓名： | 游文斌 冯飞 俞正寅 戈肖鸿 刘明 李昕欣 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海200050;中国科学院大学,北京100049;2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 |
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| 基金项目： | 上海市科委项目，国家自然科学基金资助项目，国家“863”计划资助项目 |
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| 摘 要： | 作为微型气相色谱仪(Micro GC)的关键部件的微型热导检测器(Micro TCD),其噪声主要来自于温度波动和气流抖动等因素.从理论上分析了Micro TCD噪声的主要来源,使用COMSOL仿真得到了温度波动对系统噪声的影响,并详述了Micro TCD加热模块的电路部分和算法部分.测试表明:Micro TCD的温度波动约为0.09℃,达到了商用GC控温精度的标准.
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| 关 键 词： | 微型气相色谱仪 热导检测器 噪声 PID算法 |
Research of temperature controlling module of micro thermal conductivity detector |
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| YOU Wen-bin,FENG Fei,YU Zheng-yin,GE Xiao-hong,LIU Ming,LI Xin-xin. Research of temperature controlling module of micro thermal conductivity detector[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2017, 36(2). DOI: 10.13873/J.1000-9787(2017)02-0011-03 |
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| Authors: | YOU Wen-bin FENG Fei YU Zheng-yin GE Xiao-hong LIU Ming LI Xin-xin |
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| Abstract: | The main noise of micro thermal conductivity detector (micro TCD),the key part of micro gas chromatograph(GC) system,comes from temperature fluctuation and gas flow noise.Main sources of micro TCD noise is theoretically analyzed,effect of temperature fluctuations on the micro TCD noise is simulated with COMSOL,and electric circuit and the algorithm of the heating module is described in details.Test show that temperature fluctuations of micro TCD is about 0.09 ℃,which reach standard of commercial GC temperature control precision. |
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| Keywords: | micro gas chromatograph(GC) thermal conductivity detector(TCD) noise PID algorithm |
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